二手 KLA / TENCOR Candela CS20R #293605955 待售

KLA/TENCOR Candela CS20R是一種用於精確測量和檢測光掩模、IC布局和IC光刻缺陷的掩模和晶圓檢測設備。該系統采用2048 x 2048像素檢測器，為目前可用的任何修復分辨率掩碼和晶圓檢測儀提供最高分辨率。它還包括一個多軸掃描階段，提供快速的檢查和對準能力，以及一個高強度的燈頭，以確保精確的測量。該機還配備了多種先進的過程控制，包括延遲時間和圖像優化。KLA CANDELA CS 20R利用先進的光學和模式識別算法進行掩碼修改、檢查和晶圓表征。該工具采用新設計的金屬氧化物半導體（MOS）正視圖攝像頭和後視圖（way）攝像頭。資產任務圖案化晶片具有亞像素分辨率，而金屬氧化物半導體（MOS）正視圖攝像機用於對準晶片，後視圖攝像機提供晶片的精確測量。該模型還配備了一系列軟件工具和專有算法，以確保檢測設計中的缺陷，然後才能在晶圓上觀察到它們。此外，設備支持使用自動缺陷識別和分類流程。TENCOR CANDELA CS-20 R有幾個特點，有利於面膜修改和光刻操作。它的圖像優化功能確保了標線的準確著色,而延遲和重叠掃描功能則確保了補丁的有效定位和掃描。其快速的檢測速度為目前可用的掩模和晶圓檢測提供了最快、最高的分辨率。該系統還與Windows和UNIX系統兼容，便於安裝和使用。TENCOR CANDELA CS 20 R是一個可靠有效的掩模及晶圓檢測單元，為光掩模、IC布局和IC光刻客戶提供下一代結果。它旨在對缺陷進行快速檢查和分類,而其先進的工藝控制和內置的糾正措施對IC制造中涉及的任何工藝都是有益的。該機器既穩定又經濟，為掩蔽和光刻檢查提供了經濟實惠的解決方案。