二手 KLA / TENCOR Candela CS20R #293609511 待售

KLA/TENCOR Candela CS20R是一種在真空環境中運行的掩模和晶片檢測系統，用於晶片和掩模的自動表征和缺陷分析。該CS20R具有300 mm的舞臺,可實現高精度的樣本對齊、陣列化以及頂視圖和橫截面圖像的測量。其集成濾波器增強了成像保真度，使橫向成像能夠在寬波長範圍內進行。該CS20R利用亮場和暗場成像技術來捕獲掩模或晶圓表面的全方向反射率。通過熒光相關光譜（FCS）獲取數據,以檢測掩模或晶圓上的任何潛在缺陷,如劃痕和蝕刻圖樣。系統的多光束LensEngine從頂部和底部視圖圖像獲取數據。它已經優化了對比度、調性和模式識別在廣闊的視野。該CS20R還配備了先進的數據采集和分析軟件。它能夠在很短的時間內分析大量數據,而且用戶幹預最少。分析產生的統計數字可用來作出決定，並就結果提供反饋。CS20R設計成密封的外殼。這有助於改善環境控制,並最大限度地減少灰塵、汙垢和其他可能影響所收集數據準確性的元素的幹擾。該CS20R的設計既可靠又高效。它可以快速檢測口罩和晶片上的任何缺陷或不規則性，並為用戶提供做出準確決策所需的數據。憑借先進的成像技術和軟件能力，KLA CANDELA CS 20R是一種可靠且經濟高效的掩模和晶圓檢測系統。