二手 KLA / TENCOR Candela CS20R #9148287 待售

ID: 9148287
晶圓大小: 2"-8"
Surface measurement system, 2"-8" Stains: 20um Dia, 10Å Thickness Parameters: Ra, Rq, Wa, Wq Film thickness uniformity: 5Å <Thermal oxide <1000Å Repeatability: CV ≤ 5.0% Illumination sources: 50 mW Laser 405 nm Wavelength Operator interface: Trackball Keyboard Power: 220 V, 60 Hz, 1 kW Air pressure: 95~110 PSI Air flow rate : 2 CFM 1/4" OD, 3/16” ID Includes: Polyurethane tube.
KLA/TENCOR Candela CS20R是一種掩模和晶片檢測設備,旨在可靠地發現單層和多層光掩模和晶片中的缺陷。該系統獨特的3-D成像技術具有超銳利的光學器件和高達45 µm的分辨率,即使是最小的缺陷也能得到高度精確的檢測。CS20R的核心是獲得專利的500萬像素CCD檢測傳感器。該傳感器采用雙光單元,結合了可見和紅外照明,允許增強對比度和更好的缺陷檢測。該機還具有比常規系統大45倍以上的大視野,使得大面積檢查無需多次掃描。該CS20R還具有用戶友好的軟件界面,使工具的操作簡單直觀。它具有一套全面的模式識別和分析工具,使用戶能夠快速準確地掃描單層和多層樣本。該CS20R還集成了用於特定任務的多個軟件內核,例如缺陷分類、驗證和審閱。除了技術先進的功能外,該CS20R還構建在功能強大且可靠的平臺上,在繁忙的生產環境中提供異常可靠的操作和維護。它是為連續運行而設計的,這意味著幾乎沒有停機時間,並且資產可以通過一系列硬件和軟件選項進行升級。總體而言,KLA CANDELA CS 20R是一個非常強大和可靠的面罩和晶圓檢查模型。設備獨特的3-D成像技術,加上其雙光系統,可以檢測到甚至最小的缺陷。該設備還構建在一個可靠的平臺上,能夠在繁忙的生產環境中進行可靠的操作,並配備了一系列自動模式識別和分析工具,使機器的操作變得簡單直觀。
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