二手 KLA / TENCOR Candela CS20V #9293251 待售

KLA/TENCOR Candela CS20V是一種掩模和晶片檢驗設備，旨在滿足半導體制造中對掩模和晶片檢驗的苛刻要求。該系統采用先進的圖像采集和處理算法，實現了前所未有的精度和可重復性。KLA CANDELA CS 20 V利用高分辨率成像技術對小至0.5 μ m的掩模進行成像。它結合了深紫外線（DUV）和可見光成像，使設備能夠檢測到刻蝕不足和過度的特征。成像光學器件針對最高分辨率和低噪聲級別進行了優化,動態範圍可達1000：1。該機利用先進的缺陷檢測算法，準確識別了掩模和晶片上的缺陷。可以檢測到小至0.2 μ m的缺陷,並且可以根據類型和大小進行分類。它通過缺陷優先級劃分、自動階段掃描和圖像增強技術的組合,提供了錯誤警報的減少和增強的吞吐量。除了缺陷檢測，TENCOR CANDELA CS 20-V還提供了廣泛的過程表征功能。它提供了完整的晶圓地形分析功能，允許測量特征輪廓、薄膜厚度、步高和蝕刻深度。還支持高級臨界尺寸（CD）測量,該工具能夠測量和分析角圓、45°側壁和過度蝕刻的特征。CANDELA CS-20 V專為易用性和魯棒性而設計。它位於不銹鋼外殼中,具有直觀的用戶界面,可定制菜單、易於訪問的資產設置以及觸摸屏顯示屏。該模型具有可現場升級的組件，便於設備重新配置，並提供高度的模塊化。KLA/TENCOR CANDELA CS 20 V是一種先進而強大的掩模和晶圓檢測系統，設計用於最苛刻的半導體制造應用。它結合了高分辨率成像技術、先進的缺陷檢測算法和過程表征能力，使設備能夠提供高吞吐量和可重復性的高精度結果。