二手 KLA / TENCOR CRS 1010 #9140524 待售

KLA/TENCOR CRS 1010是一種掩模和晶片檢測設備，設計用於對半導體晶片和掩模進行自動檢測。該系統能夠檢測面罩和晶片上的各種缺陷，如光刻位移、橋接、線緣粗糙度、微橋、針孔和自然缺陷。該裝置采用成熟的光譜儀，可見範圍從380到750 nm，甚至能夠檢查最小的缺陷。此外,該機器還配備了靈敏的背光成像工具,能夠以較高的信噪比對缺陷進行表征。KLA CRS 1010還配備了一個集成的晶片處理程序，用於真空室內的晶片加載、卸載和處理。這樣可以準確放置晶片,並防止由於潔凈室環境而造成任何汙染。TENCOR CRS 1010還配備了高分辨率光學資產,允許在大視野上進行缺陷檢查,長度可達8毫米,寬度可達16毫米。這樣就可以檢測到最小的缺陷。此外，CRS 1010能夠並行檢測口罩和晶片，大大縮短了檢測時間。此模型能夠在一次運行中檢查多達四個晶片或掩碼。再者，KLA/TENCOR CRS 1010具有擴展的圖像處理能力，包括自動缺陷檢測、識別和分類能力。這使設備能夠快速準確地識別和分類掩模或晶片上的任何缺陷。最後，KLA CRS 1010設計為通過易於使用的圖形用戶界面操作。這使系統易於設置、操作和維護,並確保任何用戶都可以充分利用其功能。總而言之，TENCOR CRS 1010是一個可靠而強大的掩模和晶圓檢測單元，能夠提供高度準確的結果。