二手 KLA / TENCOR CRS 1010 #9298930 待售

KLA/TENCOR CRS 1010是來自測量和檢驗系統領先供應商KLA的掩模和晶圓檢驗設備。該系統利用高分辨率成像和智能計量的高級功能,為用戶提供全面、準確的檢查和掩碼評估。KLA CRS 1010旨在滿足大批量生產環境的需求，能夠遞送大部分晶片，從單級蒙版到多級逆音蒙版。TENCOR CRS 1010的核心是其高分辨率成像單元。機器以高達1.25 µm的分辨率和不同角度捕獲掩模和晶片的圖像,從而確保檢查結果的準確性。CRS 1010使用專利的電子束和X射線成像技術，準確測量掩模和晶片中特征的存在、缺失和布局。該工具還能夠使用透射光或自動透射成像技術來檢查模式布局的變化。KLA/TENCOR CRS 1010還包括復雜的計量功能,使用戶能夠測量特征的寬度和長度,使其達到設計布局的20%或更高。資產可以檢測掩碼和晶圓上是否存在針孔、凹坑和劃痕,並且可以識別和標記源代碼讀出上的缺陷。KLA CRS 1010旨在以精確和速度處理單級和多級掩模和晶片。該模型能夠同時詢問多達32層的掩模,使其成為滿足高批量生產要求的理想解決方案。除了先進的成像和計量功能外，TENCOR CRS 1010還為用戶提供了直觀的用戶界面和多項功能，以方便數據和信息管理。該設備允許用戶使用直觀的界面存儲、查看和分析信息。系統還可以生成詳細的報告，可以用來分析蒙版設計和修訂的有效性。此外，該股允許整合外部系統，以促進數據共享和結果分析。CRS 1010是TENCOR為滿足大批量生產環境的苛刻要求而開發的一款功能強大的掩模和晶片檢測機。該工具為用戶提供高級成像和計量功能,以確保檢查過程的準確性和速度。此外,直觀的界面和功能使信息易於存儲、查看和分析,使其成為滿足任何掩碼和晶圓評估需求的理想解決方案。