二手 KLA / TENCOR CRS 1010 #9382222 待售

KLA/TENCOR CRS 1010掩模和晶圓檢測設備是一種最適合半導體制造工藝的自動化光學檢測平臺。該系統以先進的激光共聚焦成像技術為基礎，能夠對掩模和晶片基板上的微小結構進行快速、高精度的成像。KLA CRS 1010配備了一個200萬像素的CMOS相機和一個大功率激光器，這兩者都用於以非常高的放大倍率捕捉和檢查圖像。激光經過校準，在聚焦於預設分辨率的同時產生最佳光量。激光由單位單獨跟蹤監控，確保運行正常，不超過安全標準。TENCOR CRS 1010能夠對單個晶片進行缺陷檢測、汙染物檢測和顆粒分析。該機配備了模式識別和分類算法，可用於快速、準確地識別和分類缺陷。該工具還具有集成軟件，可用於調整檢查參數和閾值，以便在掩模/晶圓檢查過程中進行真正的正負分類和數據分析。CRS 1010還包括自己的數據存儲和通信解決方案，使其能夠作為整個掩模/晶圓檢測過程的樞紐。它能夠無縫集成到現有的操作和基礎架構中,並擁有自己的檢查算法和設備軟件庫。KLA/TENCOR CRS 1010具有直觀的用戶界面,易於編程和利用。它還可以適應許多不同的操作環境,並具有全面的計量包。這提高了它的靈活性和整體可用性，使它能夠快速適應多個應用程序。最後,KLA CRS 1010的False Call速率極低,大大提高了產量。通過消除潛在的人為錯誤,資產提供了更大的操作統一性,並且可以檢測和糾正低於Angstrom級別的缺陷。因此，TENCOR CRS 1010是用於掩模和晶圓檢測過程的強大而可靠的工具。