二手 KLA / TENCOR CRS 1010 #9392790 待售

KLA/TENCOR CRS 1010是一種可以檢測半導體晶片和光掩模缺陷的「掩模和晶片檢測」設備。它利用先進的光學和圖像處理系統來分析缺陷和材料的模式。KLA CRS 1010是一個全自動單元，利用多個組件提供全面的檢查能力。主要組件有：光學成像機、運動舞臺、攝像機和控制器。該工具還包含檢查員的前端人體工程學界面以及用於控制和分析數據的用戶軟件。TENCOR CRS 1010捕獲明場和暗場圖像的光學資產由高放大顯微鏡、高精度電動直線級和靈敏的高分辨率數碼相機組成。光學器件提供1.5微米分辨率，使模型能夠精確檢測甚至最小的缺陷。運動階段允許高掃描速度，同時還控制顯微鏡的俯仰、側傾和偏航，提供三維圖像分析。CRS 1010的圖像處理設備分析了缺陷和材料的模式，使系統能夠提供可靠的缺陷分類和量化。控制器能夠指揮攝像機和舞臺，同時還處理圖像采集和預處理、圖像比較以及測試結果的存儲。KLA/TENCOR CRS 1010的用戶友好軟件允許數據分析完全自動化，並向質量和過程控制應用程序報告。它還包括配方管理、實驗設計的視覺輔助和統計過程控制等內置信息。KLA CRS 1010是一個高度可靠、精確的掩模和晶圓檢測單元，能夠高精度檢測缺陷，使最終用戶能夠優化工藝能力。可靠的缺陷分類和量化有助於制造商顯著降低與缺陷檢測相關的成本,同時為報告和分析提供全面的可追蹤性。