二手 KLA / TENCOR CRS 1010S #293830273 待售

KLA/TENCOR CRS 1010S是一種高性能的掩模和晶圓檢測設備，旨在提供缺陷和非缺陷檢測能力。該系統能夠以無與倫比的速度和精度檢查到0.2微米。它可以檢測到各種各樣的缺陷，如劃痕、不均勻、顆粒和其他非均勻性。KLA CRS 1010S還為其他生產問題提供高精度檢測，如滑移和傾斜、平坦度、鍍鉻層厚度和梯度。該單元結合了一些先進的組件，以提供極其可靠的結果。它的用戶界面會自動創建存儲在數據庫中的用戶定義校準數據,以確保檢查的一致性和準確性。該機具有500 kHz的舞臺攝像機明亮場和采用OneView技術的集成攝像機控制器,可降低圖像噪聲,同時提供卓越的圖像質量和分辨率。該工具還利用最新的熱交換相移技術提高相差測量的準確性，同時減少檢查時間。此外，TENCOR CRS 1010S提供先進的晶圓和掩模分析工具，包括步高測量和幹涉測量。通過其共焦的Igrade檢測和分析功能,它可以識別邊緣上的缺陷,以及小、微弱和/或清除缺陷,從而能夠快速高效地糾正這些缺陷。對於工具到工具或技術節點到節點的比較，CRS 1010S還提供晶圓級叠加測量。這種技術和分析工具的組合使資產能夠快速準確地處理數據,以幫助確保最高質量標準。KLA/TENCOR CRS 1010S非常適合檢查下一代掩模和晶圓技術以及各種設備制造基板。該模型為掩蔽、計量、模具粘合和光刻提供了卓越的性能。先進組件、技術和分析工具的強大組合使該設備能夠提供檢查掩模和晶圓組件的最高精度和速度。