二手 KLA / TENCOR CRS 2000 #293595655 待售

KLA/TENCOR CRS 2000是一種用於檢測任何類型缺陷的掩模和晶圓檢測設備。利用4個不同角度的亮場和暗場照明來提供晶圓或掩模的整個表面積的完整視圖。然後,系統將存儲每個缺陷的圖像,並提供有關每個缺陷的確切大小、性質和位置的詳細信息。此外，KLA CRS 2000還可以提供關於發現的每個缺陷的數量和大小的詳細報告，並可以檢測樣品中的汙染物。TENCOR CRS 2000提供各種特定於任務的查看模式,並具有自定義參數的能力。這些模式包括Brightfield和Darkfield模式,這兩種模式均可用於檢測表面地形。Sub-micron缺陷檢測是通過特殊的「縮放」模式啟用的,它可以放大到高達5000倍的分辨率。CRS 2000還具有識別顆粒、汙染物和邊緣缺陷的先進算法。此外，自動掃描和檢查使設備能夠在不到一小時的時間內快速掃描多達170個晶圓。對於用戶來說，KLA/TENCOR CRS 2000包括一個綜合軟件包來控制機器、處理和分析數據，以及一個用戶友好的圖形界面來訪問所有功能。此界面包括數據記錄、報告生成、警報設置和掩碼編輯器。KLA CRS 2000還支持與其他KLA系統之間的數據傳輸,以便於檢查和審查。所有結果都可以在統計表中顯示,或導出為標準ASCII格式。該工具的高級MultiTask軟件包還提供了諸如面積、密度、粗糙度和斜率檢測等高級分析功能。內置算法用於根據各種標準對缺陷進行分類和分組，從而能夠快速準確地確定缺陷位置。此外，該軟件還可以生成包括統計摘要等詳細信息在內的綜合報告。TENCOR CRS 2000是需要詳細測量晶圓和掩碼的應用的理想工具。它提供了對各種規模和地點的缺陷和汙染物的準確檢測，以及全面的報告和分析功能。CRS 2000具有易於使用的操作員界面，是一種可靠、經濟高效的掩模和晶圓檢測資產。