二手 KLA / TENCOR CRS 2000 #293615914 待售
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KLA/TENCOR CRS 2000是一種掩模和晶圓檢測設備,為一系列應用提供先進的成像技術和卓越的計量精度。它使用戶能夠在整個供應鏈中擴展其生產能力並改進質量控制。在其核心,KLA CRS 2000是一個高性能的鏡頭系統,收集蒙版和晶圓基板的圖像。該單元具有雙高孔徑(NA)目標,提供了更好的分辨率,更大的聚焦深度和更大的景深。透鏡機能夠達到檢測器原生分辨率的25倍,非常適合高分辨率的檢測需要。此外,TENCOR CRS 2000還具有高速掃描模式,允許用戶以每秒15幀的速度快速捕獲圖像。CRS 2000具有多種用於掩模和晶圓基板成像的探測器。這包括用於廣域成像的背光CCD,以及用於微小缺陷高分辨率成像的GaAs和SiC探測器。高分辨率探測器專為高效、低噪聲和快速曝光時間而設計,為用戶提供驚人的圖像質量和準確性。KLA/TENCOR CRS 2000也有幾種強大的檢測能力。該工具能夠檢測最大0.2微米大小的缺陷,從而確保檢測到最小的缺陷。它還具有獲得專利的表面特征算法,使用戶能夠快速、準確地檢測小至0.02微米大小的特征。此外,該資產還具有內置缺陷圖庫和功能強大的自動識別算法,使復雜的缺陷表征和檢查變得容易。KLA CRS 2000還具有高精度級,為用戶提供了精確對齊和掃描晶圓和掩模基板的能力。該模型包括線性和旋轉兩個階段,允許用戶精確定位和定向其基板。這使用戶能夠進行更高效、準確和精確的檢查。總體而言,TENCOR CRS 2000是一種先進的掩模和晶圓檢測設備,為一系列工業應用提供卓越的圖像分辨率和卓越的計量精度。它具有強大的檢查功能,能夠檢測到最小的缺陷。此外,該系統還具有精確定位和定位的高精度階段。最終,CRS 2000對於任何需要最先進的檢查解決方案的用戶來說都是理想的選擇。
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