二手 KLA / TENCOR CRS 2000 #293627297 待售

KLA/TENCOR CRS 2000是一種用於檢測先進半導體制造工藝中的關鍵缺陷的掩模和晶圓檢測設備。利用高分辨率光學計量學和專家缺陷識別算法的優勢，將缺陷精確地檢測和分類到亞微米級。這種功能強大、功能齊全的系統能夠感測每個晶圓和掩碼的頂部和底部幾何形狀,同時應用一系列軟件定義的過程自定義,以確保最大程度地覆蓋缺陷和準確性。該單元包括一個先進的晶圓監控軟件包，使用戶能夠在整個生產過程中監控、分析和預測晶圓水平和層完整性。該機器配有先進的成像硬件模塊,可以檢測和測量亞微米範圍內的缺陷,從而使用戶能夠檢測通常丟失的不可見缺陷。此外,它還可以檢測同一晶圓的多層缺陷和異常,以及周圍區域可能出現的任何缺陷。KLA CRS 2000使用具有可自定義參數的已知缺陷區域庫來檢測甚至最微妙的缺陷形式。此外,它還使用強大的分析工具來捕獲圖像,實時顯示圖像,並在檢查過程中比較和對比每個圖像。TENCOR CRS 2000還配備了集成激光工具，快速提供多芯片的對準和掩碼配準，確保了一致的缺陷檢測和可重復性。最後,CRS 2000提供了一系列自動化解決方案,以簡化流程並提高吞吐量和盈利能力。資產可以自動檢測缺陷，減少人工檢查時間，並調整每個晶片的照明和模型設置，以減少錯誤缺陷率，並允許可靠、可重復的結果。綜上所述，KLA/TENCOR CRS 2000是一款功能強大、先進的掩模和晶圓檢測設備，能夠滿足現代半導體制造工藝的嚴格要求。它利用高分辨率成像功能、專家缺陷識別算法和自動化解決方案的強大功能,為用戶提供準確的結果、可重復性和改進的吞吐量。