二手 KLA / TENCOR CRS 3000 #9137166 待售

KLA/TENCOR CRS 3000是一種掩模和晶片檢測設備，設計用於檢測半導體制造過程中光刻和蝕刻造成的缺陷。它用於檢查半導體掩模和晶片的特征如圓度、邊緣輪廓和其他幾何圖樣。該系統使用最先進的高端光學設備和技術以及先進的光學、光源和成像軟件。檢測光學器件將高分辨率航拍影像與一系列專用聚焦級相結合。這樣可以快速準確地評估缺陷特征,例如音調細節、間距和對比度。該裝置還具有一個巧妙的鉸接6軸晶圓對準機，從而提高了檢測過程的速度和準確性。工具的掃描儀可以放大感興趣的特征，以便進行更詳細的檢查。此外，高速圖像處理器被集成到資產中，進一步提高了檢測過程的速度和準確性。KLA CRS 3000可以檢測尺寸小至5納米的缺陷，靈敏度高達100%。該模型還有一個晶圓圖覆蓋，它允許一個額外的水平缺陷檢測。TENCOR CRS-3000的檢測監控能力包括跟蹤級控制和測量限制。在自動化方面，設備高度自動化，可以配置為檢查各種晶圓尺寸。系統也可以使用其隨附的軟件包操作。用戶界面人性化、直觀，可以快速準確地解讀檢驗結果。CRS-3000是一種高效的掩模和晶片檢驗裝置，采用最新技術設計，以達到最高精度和速度。其集成的光學和圖像處理器使其成為業界最可靠的工具之一，使半導體制造商能夠快速準確地識別和解決缺陷。