二手 KLA / TENCOR CV300 #9244817 待售
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ID: 9244817
Wafer edge inspection system, 12"
Non functional parts:
Computer
Laser head
Robot
2009 vintage.
KLA/TENCOR CV300是一種高度先進的掩模晶圓檢測設備，提供高質量的半導體工藝控制和領先的光學檢測技術。系統的多階段檢測過程使其能夠在不到一秒的周期時間內檢測晶片，從而能夠快速檢測和診斷缺陷。它的檢測技術是CMOS工藝控制的理想選擇，因為它能夠檢測和評估從納米到亞微米及以後的多個尺度的特征。KLA CV 300的光學檢測單元是其過程控制套件的組成部分，具有多光譜成像機、高放大光學、基於圖像分析算法的自動缺陷分類，最大缺陷分辨率。該工具還利用先進的KLA粒子檢測技術來分析從100 µm到20 nm的粒徑。此外,它還包括叠加測量、模具級計量和表面缺陷掃描等功能,所有這些功能均可用於進一步改進缺陷檢測和分析。TENCOR CV300還擁有一系列高級資產功能,例如自動校準過程、用戶友好界面、全面的測量報告和高效的數據管理工具。它包括用於顯示和控制過程數據的軟件,以及用於關鍵缺陷設備匹配、數據分析和過程優化的工具。掩碼和晶片檢查模型是為最大程度的模塊化而設計的,允許一系列配置選項來滿足特定的工藝需求。其用戶友好的特點和堅固的設計使其具有很高的可靠性，而其高精度的光學和粒子檢測機制則使晶圓和模具級檢測達到亞微米級。綜上所述，CV300面膜晶片檢測設備是一種用於過程控制和檢測的多合一解決方案。憑借先進的光學、粒子檢測和多尺度的檢測能力，它旨在簡化過程控制，減少過程步驟，同時保持精度和速度的最高質量標準。
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