二手 KLA / TENCOR DFIMS Handler for SP1 #9262063 待售
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ID: 9262063
KLA/TENCOR DFIMS SP1處理器是一種最先進的掩模和晶圓檢測設備,其設計目的是滿足當今最先進的半導體材料和工藝的最苛刻要求。該系統由許多旨在在缺陷檢測和預防方面達到最高性能水平的技術組成。它提供了自動掩碼和晶圓檢查、粒子檢測和缺陷確認功能。KLA DFIMS SP1處理器的核心是利用一套強大的圖像處理和顯微鏡技術來檢查面膜和晶片的表面缺陷。它采用了先進的光學單元,並通過深紫外激光進行增強,以執行高分辨率、大面積成像、模式匹配、缺陷分析和統計文檔。利用這些方法,該機具有高度精確的缺陷定位能力,能夠快速準確地識別缺陷。該工具還采用了獨特的自動聚焦功能,可確保在最佳焦平面上拍攝檢查圖像,以實現資產檢查能力的最大性能。這樣可以確保最高的準確性和最短的檢查時間。還包括一個專門的「自動閾值」特征,它可以準確識別掩模或晶圓表面上的粒子和其他小缺陷。除了圖像處理能力外,TENCOR DFIMS Handler for SP1還配備了先進的缺陷分類模型。該設備用於對檢測到的缺陷進行風險級別的實時分類和優先排序。這使系統能夠確定每個檢測到的缺陷的最合適的分辨率和響應。它還通過在沒有任何用戶幹預的情況下自動識別出檢測到的缺陷最合適的分辨率,大大簡化了掩碼和晶圓檢查過程。總體而言,DFIMS Handler for SP1提供了一個功能強大、高度精確的解決方案,用於檢查面罩和晶片的表面缺陷。它結合了先進的圖像處理技術和專門的缺陷分類功能,提供了最大的準確性、可靠性和速度。因此,它是半導體器件制造商尋找可靠、經濟高效、精確的掩模和晶圓檢測解決方案的絕佳選擇。
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