二手 KLA / TENCOR DFIMS Handler for SP1 #9262239 待售

KLA/TENCOR DFIMS SP1處理器是一種全自動的掩模和晶圓檢驗系統,旨在幫助制造商在缺陷到達生產線之前識別和糾正缺陷。該系統與KLA軟件和硬件工具無縫集成,可輕松集成到現有的生產環境中。系統使用高級專有算法自動識別和分類模式缺陷，並在半導體生產過程中對其進行監控。用於SP1的KLA DFIMS處理程序的主要組件包括掩模檢查模塊（MIM）和晶圓檢查模塊（WIM）。MIM集成了獨特的模式搜索、模式識別和缺陷分析，以快速準確地檢測和分類掩模圖稿中的缺陷。它在小於500 nm的掩碼坐標上提供高性能和高精度,可同時使用Gray-level和Binary掩碼。WIM會自動檢查晶片上的圖樣缺陷,每秒最多30個標線,並具有可調節的視覺設置。它基於TENCOR自主控制算法，還可以檢測和分類晶圓表面的光學缺陷。此外,TENCOR DFIMS Handler for SP1還提供了一系列其他支持功能,如晶圓支持模塊、高級視覺選項、缺陷庫創建、缺陷覆蓋經濟性和交互式數據庫管理。晶片支持模塊提供了從制造商收到晶片到處理程序檢查晶片的本地化實時跟蹤能力。先進的視覺選項（如Logarithmic Vision、Dispersion Vision和FFT vision）為制造商提供了全面的檢查功能,而缺陷庫的創建和缺陷覆蓋經濟性簡化並自動化了驗證掩碼和晶片的過程。最後,交互式數據庫管理功能使用戶能夠根據需要輕松訪問、管理和更新其數據存儲庫。用於SP1的DFIMS處理程序是大批量生產環境中掩模檢查和晶圓分選的理想解決方案,因為它為制造商提供了確保其產品按時、零缺陷地進入市場所必需的可靠性和準確性。它是一個經濟高效的解決方案，旨在確保在掩模和晶圓檢查方面的最大效率和可靠性。