二手 KLA / TENCOR DFIMS Handler for SP1 #9262248 待售

KLA/TENCOR DFIMS SP1處理器是一種先進的全自動晶片和掩模檢測設備,旨在為半導體制造提供更強的工藝控制和速度。該系統擁有一個能夠在每小時500個晶圓上進行光學和電氣測量的多傳感器平臺,可讓制造商和OEM以前所未有的速度、精度和可靠性來制造、測試和驗證工藝步驟。用於SP1的KLA DFIMS處理程序結合了先進的成像技術,如采集多光束（AMB）成像、數字圖像關聯（DIC）和圖像理解算法,在包括曲面和圖案特征在內的各種參數上提供快速準確的數據。該設備采用獨特的工藝控制機器,可自動驗證工藝參數,如閘門厚度、閘門側壁角度、線寬、線緣粗糙度、缺陷大小和缺陷位置。高級圖像處理工具使該工具能夠對所有工藝參數進行詳細的納米級測量（最多2nm）。此外，資產可以測量晶圓的全局均勻性，甚至可以檢測到尺寸較小的最小工藝變化。這些數據使模型能夠做出有價值的決定，例如何時必須采取糾正措施。SP1能夠對設備的正面和背面或接觸層執行檢查。因此,它可以分析標準設備和特殊設備的曲面,如高縱橫比分隔門、線端、通孔和溝槽。此外，該設備還利用專門的多路復用晶片檢測工具，使系統能夠從一次掃描中分析多個參數。為了實現準確的數據采集,TENCOR DFIMS Handler for SP1配備了具有128 kb高速緩存的am超快速處理器,每秒可處理6至700萬個數據點。為了改進工作流程，該單元包括集成的位置編碼器和實時數據采集和分析，以便更快速、更精確地檢測缺陷。該機具有浮頭真空頭，確保晶片定位更大的靈活性和可靠性。為確保更高質量的掩模性能,該工具采用了先進的邊緣檢查技術,以確保模具邊緣對準的準確性和準確性。最後,SP1具有直觀的用戶友好操作資產,允許用戶根據自己的要求和偏好自定義檢查作業的參數。DFIMS Handler for SP1具有高速度、精確度和廣泛的測量性能功能,是半導體制造商、OEM和研究實驗室的理想工具,它們需要密切關註其工藝性能。