二手 KLA / TENCOR eDR-5200 #293651675 待售

ID: 293651675
Defect review Scanning Electron Microscope (SEM).
KLA/TENCOR eDR-5200是一種功能強大、精密的面膜和晶片檢測機器。該設備利用自動化算法和世界級光學技術實時分析掩模和晶片的微觀特征,從而實現一致和可靠的結果,同時最大限度地提高吞吐量。KLA獲得專利的1-2微米成像技術是KLA eDR-5200的核心,允許系統將高分辨率圖像收集到其軟件平臺中。該設備的高級自動化算法可檢測、識別和分析到納米級以下的缺陷,並可進行非侵入性缺陷檢查和審查,從而消除偏差。機器的綜合成像能力涵蓋了廣泛的數據點,產生了一個綜合的結果庫和實時評估。此工具還包括專為檢測唯一故障和確保識別所有潛在缺陷而定制的專用算法。TENCOR eDR-5200還提供了一個集成的交互式報告資產,可以進行詳細的缺陷分析和驗證。除了提供數字化數據庫創建、圖表繪制和比較功能外,它還通過提供具有自動缺陷分類功能的檢查結果的完整披露來做到這一點。使用eDR-5200,用戶可以通過為各種缺陷類型分配重要的權重、指定檢查監視器以及在過程的任何階段進行審查來優化和定制其檢查過程。TENCOR還包括用戶友好的驗證和報告功能,允許用戶僅單擊幾下即可創建自定義的分析報告。KLA/TENCOR eDR-5200也可以編程為自動檢查,從而無需手動輸入數據。此外,該模型還能夠檢測局部小缺陷並確定其確切位置,以便進一步診斷和修復。KLA eDR-5200進一步支持各種掩碼和晶片配置,其專用光學器件可實現從一個基板到另一基板的精確和高速檢查。此設備獨特的體系結構旨在確保長期的可靠性、準確性和可重復性。KLA/TENCOR對質量和客戶驅動的創新的承諾體現在TENCOR eDR-5200中,使用戶可以在檢查和分析中享受最高級別的性能。
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