二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #293639990 待售
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KLA/TENCOR eDR-5210是一種高速、高精度的掩模和晶圓檢測設備，旨在滿足半導體器件制造商的需求。KLA eDR-5210結合了KLA先進的圖像處理技術,提供卓越的性能和功能,可確保在所有類型的設備上精確檢測缺陷和精確調整尺寸。系統使用TENCOR光子成像單元（PIS）技術的變體來確定缺陷的大小、形狀和性質，可以檢測到小至22 nm的缺陷。機器的核心是雙照明器，允許同時進行SIMS（掃描電子顯微鏡和離子束）和電子束透晶片（TW）檢查。高分辨率光學器件可以提高精度、更精細的特征定義和卓越的邊緣檢測。TENCOR EDR 5210還提供了自動缺陷檢測（ADD）算法,該算法允許快速分析,確保檢測到困難和隱藏的缺陷。此外,TENCOR eDR-5210具有先進的數據共享、分析和報告功能,允許對操作員/檢查員的決策進行快速和質量缺陷分類。該工具還提供自動制圖,允許進行高效的生產檢查。GUI和全面的應用程序編程接口（API）提供了與主機的無縫集成,從而實現了無憂操作。為確保圖像質量,KLA/TENCOR EDR 5210能夠保留總共15組具有高分辨率圖像的晶圓映射,以及其他各種高級功能。這些特性包括8位數字輸出能力、自動舞臺原點識別和防振隔離板，以減少因振動造成的圖像移位。最後,eDR-5210上的先進技術和功能確保了該資產能夠達到最高性能標準,並保證了卓越的缺陷檢測。憑借其全面的圖像處理工具和直觀的設計，該模型是滿足半導體器件制造商先進需求的理想解決方案。
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