二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #293755072 待售

KLA/TENCOR eDR-5210是一種自動掩模和晶圓檢測設備，設計用於檢測半導體材料表面的缺陷。它是一個特定於應用程序的系統,旨在快速掃描和檢測晶圓表面的缺陷,從而提供一致、可重復和可靠的結果。該單元提供卓越的性能,並利用一套強大的檢測算法來檢測廣泛的潛在缺陷,包括反射率、移位、空隙、形狀錯誤的芯片邊緣和劃痕。該機器使用12英寸投影光學工具,根據所檢查材料的性質,對低至4微米的特征和一系列對比度進行超圖描繪。光源包括綠色LED （550 nm）和藍色LED （450 nm）以實現操作靈活性。資產的目的是識別任何異物，評估晶圓表面的潛在缺陷。KLA eDR-5210還具有高速、多軸運動模型，線性行進速度為20 m/s。自動對準光學器件最大限度地減少了反向散射和散射光,使其能夠在整個表面準確快速地移動,甚至可以檢測到絲毫缺陷。它可以從上到下快速掃描整個晶片表面，甚至可以檢測到正負極性缺陷，這一特性有助於減少後處理時間。該設備還能夠優化各種成像技術，包括高分辨率邊緣檢測、對比度增強和缺陷檢測。通過其先進的成像技術，TENCOR EDR 5210能夠為改進決策和資源利用提供準確的信息。此外，它的全自動操作降低了人工檢查的人工成本。總體而言,TENCOR eDR-5210是一個自動化的、特定於應用程序的系統,通過提供更高的吞吐量、全面的缺陷覆蓋範圍和始終如一的可靠結果,為半導體行業的制造商提供了顯著的優勢。其強大的檢查算法和成像技術範圍確保了最高水平的準確性和性能。