二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #293755073 待售

KLA/TENCOR eDR-5210是利用三維相幹照明技術進行高精度缺陷檢測的掩模和晶圓檢測設備。該系統設計用於半導體制造環境，提供了廣泛的檢測能力。它既適用於前沿設備，也適用於傳統設備，可用於生產和研究目的。該單元由裝有大幅面鏡頭的1300萬像素圖樣彩色CCD相機組成。這將捕獲定位設備的圖像並將其傳輸到主控制單元。該機器具有用戶友好的圖形界面和直觀的設置選項,使操作員能夠快速調整參數以進行缺陷檢查和測量。它還為圖像校準和測量以及缺陷分類提供了強大的自動化功能。KLA eDR-5210配備了集成的3D相幹照明工具。此功能利用了獲得專利的「MODLESS」掃描技術,該技術旨在顯著提高缺陷檢測和分析能力。此外，該資產能夠同時捕獲相位圖像和暗圖像，同時保持一致的照明水平。該模型還配備了一套全面的缺陷分類算法，以保證準確性。這包括表面缺陷分類算法、成像對比度增強技術、自動特性跟蹤和評估、亮度增強策略以及子分辨率特征分析。此外,每個缺陷圖像都具有指定的缺陷類別和缺陷嚴重性。最後,TENCOR EDR 5210設備提供了卓越的靈活性和可擴展性。它可以輕松配置以解決不同類型的任務,並且可以適應自定義解決方案的需要。此外,它還可以與其他軟件系統集成,用於數據管理、報告和缺陷分析。總體而言,TENCOR eDR-5210是一種先進的、精確的掩模和晶圓檢測系統.它利用三維相幹照明和專利MODLESS掃描技術，提供卓越的缺陷檢測精度和可靠性。此外,該單元還提供了一個全面的缺陷分類分析機和卓越的靈活性和可擴展性.這使得它成為半導體工業生產和研究的絕佳選擇。