二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #9075254 待售

KLA/TENCOR eDR-5210是一種用於大批量生產先進半導體器件的掩模和晶圓檢測設備。KLA eDR-5210旨在以高度可靠和高效的方式提供快速、準確的缺陷檢查。該系統采用一種創新的光學晶片掃描（OWS）技術,檢查每個設備的頂部和底部表面,為研究人員和制造人員提供更好的產量和過程控制。TENCOR EDR 5210能夠檢測多種類型的缺陷，包括缺失特征、短褲和顆粒物汙染。該單元配備了高質量的光學和照明、精密掃描機構以及數字處理硬件。它可以區分有效缺陷和無效缺陷，而它的頂級缺陷審查顯示讓科學家和工程師以非凡的精確度識別微小特征。KLA/TENCOR EDR 5210還具有精確旋轉功能,可精確測量角度和補償傾斜誤差。當檢查更復雜的結構（如遮罩層不對齊和臨界光刻變化）時,這種臨界精度是必要的。強大的EDR 5210也是高度可定制的。它可以配置各種硬件組件,以及硬件和軟件升級,以滿足個人性能需求。KLA EDR 5210還包括端點分析、掃描平均、重復掃描等自動化操作模式，優化吞吐量速率，提高產量。此外,高級故障分析功能使客戶能夠分析每臺設備的性能並確定設備退化的根源。EDR-5210臺機器旨在為檢查最復雜的半導體器件提供經濟高效的解決方案。憑借其精確的光學技術、快速的掃描速率和高度可定制的設計,TENCOR eDR-5210是任何想要確保產品質量和可靠性的半導體制造商的最佳解決方案。