二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #9278887 待售
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單擊可縮放
ID: 9278887
晶圓大小: 12"
Defect review SEM, 12"
SMC Thermo Chiller
Power supply CONE RC
Handler:
(2) Load ports / Fix load
BROOKS Robot and aligner and controller
Aligner:
OXFORD 51-1100-109 Dry cool monitory
OXFORD 51-1100-108 Dry cool control
INCA 51-1100-103 X-Strear
Main body:
OXFORD INCA DOL7967 Dry cool
EDWARD Turbo Molecular Pump (TMP)
VARIAN Ion pump
Control rack:
VARIAN Ion pump controller
EDWARDS STP-301-U DOC TMP Controller
TMC DC-2000 Precision valve controller
(2) Reset power supplies
High voltage power supply
Motion controller
Main PC
Does not included Hard Disk Drive (HDD)
Power distribution.
KLA/TENCOR eDR-5210是一種用於半導體生產的掩模和晶圓檢測設備。它旨在檢測和分析晶片中的缺陷以及其他掩模級精度缺陷。該系統能夠處理直徑不超過200毫米的晶片和各種各樣的掩模類型。該單元的主要部件包括光學檢測機、晶圓映射階段、數字圖像識別算法和集成計量控制臺。光學檢測工具是一種高分辨率的高光譜成像資產，它捕獲晶圓表面的圖像。晶圓映射級是一種多軸定位模型，可以精確測量晶圓的表面。圖像識別算法用於識別和分類任何缺陷。最後，綜合計量控制臺提供了數據的最後審查，以確保準確性。KLA eDR-5210配備了多種高級功能以提高生產率。此外，該設備設計方便安裝和維護，使其成為半導體生產線的絕佳選擇。TENCOR EDR 5210提供了廣泛的應用，從面罩檢查和缺陷分析，到光刻模具的檢查和審查。它具有高質量和可靠的圖像捕獲功能,是檢查口罩和晶片的絕佳選擇。該系統是高效的，並提供精確的結果。圖像識別算法和計量控制臺也保證了精度。KLA EDR 5210是半導體生產中檢測分析口罩和晶片的絕佳選擇。它具有高度精確的圖像捕獲和一系列高級功能,是當今市場上最可靠的系統之一,強烈建議您以最佳的工作效率。
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