二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #9397336 待售

KLA/TENCOR eDR-5210掩模和晶片檢測設備是一個先進的計量平臺，旨在提供高分辨率缺陷檢測和高級光掩模和晶片圖樣的深入分析。它是一個多模式系統，能夠在明場和暗場照明中工作，能夠高對比度成像，並使用標準的商業暗場、環場和線性偏振模式。專用算法功能進一步促進了光掩碼、標線和晶圓圖樣的無縫缺陷檢測和分析。該單元具有最大50厘米的場尺寸和0.05 µm的成像分辨率以及1 µm的檢測步長，使其成為市場上分辨率最高的系統之一。配備主動自動對焦能力、自動舞臺機、先進照明系統和自動蒙版檢索處理能力。此外,該工具還配備了先進的CMOS成像檢測器,可確保更快的操作和更好的散粒噪聲性能。KLA eDR-5210還包含功能強大的高級基於AI的算法,可幫助分析圖像以檢測不同類型的缺陷。此外,該資產還提供了多種高級分析和報告工具,使用戶能夠快速輕松地可視化和記錄缺陷數據。總體而言，TENCOR EDR 5210掩模和晶片檢測模型為光掩模和晶片圖樣的檢測提供了一個全面的解決方案。它結合了強大的算法和先進的成像分辨率,確保了用於缺陷檢測和分析的可靠設備。