二手 KLA / TENCOR eDR-5210S #9269303 待售

KLA/TENCOR eDR-5210S是為高通量計量應用而設計的全自動掩模和晶圓檢測設備。KLA eDR-5210S提供卓越的光學性能和自動缺陷檢測,用於檢查掩模和晶片。該系統可以檢查尺寸不超過3.5納米的圖樣，圖像分辨率高達2000萬像素。該單元具有自動化的多級鏡頭機，提供大視野和非常高的數值光圈。這使得在檢查掩模和晶片是否有缺陷時具有很高的準確性和分辨率。TENCOR eDR-5210S利用600W高強度LED光源和250 nm至1750 nm的可調光波長檢測缺陷。該工具使用多個同時曝光和高級圖像處理算法來檢測缺陷，即使在非常低的光照水平。自動化檢查過程包括掩模和晶圓定位、光學測量、圖像處理和數據分析，減少了檢查所需的總體時間。EDR-5210S設計用於執行快速可靠的檢查,即使在低信號到噪聲水平下也是如此。圖樣識別、Q因子檢測等圖像處理算法，結合強大的照明能力，使資產能夠快速檢測到掩模和晶片上的亞微米缺陷和其他缺陷。該型號還具有用戶友好的GUI和直觀的界面,便於設置和操作。KLA/TENCOR eDR-5210S是一種通用的檢測設備,旨在提供高通量計量,以確保無缺陷的掩模和晶片。該系統能夠檢測到低至3.5納米的缺陷，分辨率和精度都很高。自動化的檢查過程加上先進的圖像處理算法和強大的照明能力，可以快速可靠地檢測缺陷。用戶友好的GUI界面使設備的設置和操作變得簡單明了。