二手 KLA / TENCOR EFEM #9276613 待售

KLA/TENCOR EFEM是一種面罩和晶圓檢測設備，旨在提高質量評估的準確性和效率。具體而言，系統通過利用實時檢測晶片缺陷的自定義算法，簡化了半導體晶片和掩碼的完整性和均勻性驗證過程。該單元采用自動化和手動檢查功能,包括面積產量分析、精確計數、平面度和均勻性檢查,使用戶能夠快速識別和解決任何缺陷。KLA EFEM還提供高級缺陷分類功能。此功能允許機器同時檢查晶片上的多個掩碼,並對多達25種不同的缺陷類型類別進行分類。TENCOR EFEM還提供強大的計量能力。使用高分辨率成像工具，資產能夠測量線寬和CD差異，精度為5nm，檢測2.5um及以下的小顆粒。它還具有多采樣算法來檢查線邊緣粗糙度和橋/島大小。EFEM能夠檢查多種格式，包括多層面膜和基板、不同類型的標線以及各種包裝要求。利用其高分辨率成像模型，設備可以檢測到縫合和光刻偏差等幾何誤差，以及沈積圖樣和材料的誤差。此外,系統還可以執行光學檢查,例如衍射測試,以進行分辨率檢查。再者，KLA/TENCOR EFEM具有開放平臺，兼容Windows、Linux和Mac OS操作系統。總體而言,KLA EFEM是用於掩模和晶片檢查的功能強大且用途廣泛的工具,可提供強大的自動化和手動檢查功能以及高級計量功能,以確保準確性和效率。