二手 KLA / TENCOR EFEM #9278728 待售

KLA/TENCOR EFEM是一種掩模和晶片檢測設備，設計用於檢測掩模和晶片關鍵層的缺陷。該系統基於電子束自由形狀檢測法，或KLA EFEM。TENCOR EFEM是晶圓和掩模檢測的一種創新方法，在檢測過程中不需要光學投影。取而代之的是，它使用聚焦的電子束來檢查掩模和晶圓。這種電子束區分不同類型缺陷的能力範圍很廣。EFEM單元由幾個組件組成。該機包括電子束源、光學、信號檢測分析工具、資產控制板。電子束源被設計為產生一束具有聚焦束輪廓的高能電子束。然後將該束定向到掩模或晶片上的特定點，這使得聚焦的電子束可以檢查掩模或晶片上的特定特征。光學元件由一組透鏡組成，這些透鏡將光束聚焦到掩模或晶片上，從而能夠精確地成像特征。信號檢測和分析模型負責解釋電子束產生的圖像，使其能夠檢測到掩模或晶圓缺陷的存在。控制板是設備的大腦.它允許電子束通過控制電子束偏轉、束速率和其他參數設置，精確定向到掩模或晶圓上的特定特征。控制板還提供系統與其操作員之間的接口。已證明KLA/TENCOR EFEM單元在掩模和晶圓檢測方面非常可靠。它以非接觸和無損的方式實現高分辨率功能。此外，它還具有區分不同類型缺陷的優異缺陷檢測能力。KLA機已成為眾多半導體制造設施的熱門選擇，提供可靠的檢測結果和改進質量控制。