二手 KLA / TENCOR es20 #9093683 待售

KLA/TENCOR es20是一種掩模和晶片檢測設備，可用於檢測矽片中的缺陷。借助高分辨率圖像傳感器和自動缺陷分類，KLA es 20甚至可以精確檢測非常小的缺陷。系統使用亮場照明和圖像傳感器來捕捉晶圓及其缺陷的白光圖像。然後由缺陷分類引擎處理這些圖像,該引擎將刪除假陽性缺陷檢測,並為每個缺陷分配分類類型。該裝置采用專利缺陷分類引擎，可檢測CD、高度、摻雜劑和顆粒缺陷等多種缺陷類型。TENCOR es 20采用8英寸晶圓處理機，1600x1200分辨率CCD圖像傳感器。該圖像傳感器的最佳數值孔徑為0.39，像素大小為0.04微米，提供9微米的圖像分辨率。缺陷分類引擎使用高級算法和模式識別技術的組合，準確識別缺陷並分配分類類型。它的實時功能允許用戶識別缺陷的實際結構，從而允許更快的缺陷分類。Es20還采用了高級無掩碼修復（AMR）技術,能夠自動修復檢測到的缺陷。該工具使用聚焦離子束（FIB）來去除缺陷,允許自動修復缺陷,而無需昂貴的掩模集。KLA/TENCOR es 20具有融入預先存在的生產線的靈活性。資產利用了一些流程數據輸入，包括顯示、控制、通信和計量數據。這使操作員能夠輕松配置模型參數，並針對不同的缺陷條件和晶圓配置自定義其操作。綜上所述，KLA es 20是一款功能強大的掩模和晶圓檢測設備，能夠通過其高分辨率圖像傳感器和自動缺陷分類引擎檢測小缺陷。它的高級功能（如AMR技術）允許用戶自動修復檢測到的缺陷,而無需昂貴的掩碼集。該系統可以靈活地集成到預先存在的生產線中,這也使其成為許多半導體制造商的理想選擇。