二手 KLA / TENCOR es20 #9198565 待售
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KLA/TENCOR es20是半導體工業中使用的一種掩模和晶圓檢驗設備。該系統提供高分辨率、高速和自動檢查光掩模和晶片的精度和可重復性。KLA es 20型號是KLA流行es 10單元的升級,旨在滿足業界要求最苛刻的面罩和晶圓檢測需求。該機具有一個固定視場的光學投影柱,能夠容納100毫米,200毫米和300毫米直徑的晶圓。該工具還配備了高性能CCD攝像頭,從晶片中捕捉圖像,分辨率為每幀12.3百萬像素。晶片由紅色LED陣列照明,以便收集被檢查的掩模或晶片反射的光。資產還包括許多工具,如可編程缺陷模式、自動對齊模型和焦點檢測設備。檢查系統利用一系列軟件算法來識別和分類掩模或晶片上的缺陷。這包括利用光譜學檢測掩模或晶圓表面的顆粒和晶體。該單元還能夠區分單線和多線缺陷,以及檢測表面以下的缺陷。TENCOR es 20模型設計用於快速可靠的缺陷檢測,包括晶圓和器件級缺陷如刮痕和凹坑,以及屈服沖擊特征如針孔、空隙和顆粒。此外,機器還配備了各種過濾器和工具,用戶可以通過多種方式分析和處理獲取的數據。這包括使用圖像處理來增強圖像和識別缺陷,以及生成3D圖像以描繪無缺陷掩碼或晶圓的能力。總體而言,es 20掩模和晶片檢測工具是一種創新的先進解決方案,可滿足關鍵的掩模和晶片檢測需求。該資產結合了先進的圖像捕獲技術、軟件算法和各種工具,使其非常適合快速可靠地識別和評估缺陷。KLA/TENCOR es 20機型憑借其高分辨率和準確性、自動化檢測技術以及快速缺陷檢測能力,是希望將其掩模和晶圓檢測提升到最高水平的半導體制造商的理想選擇。
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