二手 KLA / TENCOR es20xp #188080 待售

KLA/TENCOR es20xp是一種最先進的掩模和晶圓檢測設備。它是一個模塊化系統，可以配置用於多種操作模式，以檢查多種類型的掩碼和晶圓。它利用先進的算法和硬件進行高速計量檢查，以提高吞吐量，並提供高度可靠和準確的結果。該單元由掃描儀頭模塊、光學器件、測量機和軟件控制工具組成。掃描儀頭模塊裝有偏轉瞳孔或遠心光學器件，可進行角度和平面成像。光學和測量資產是自動化的,使用串行測量。它包括一個圖像增強器和光度檢測器，用於檢查掩模和晶片的弱信號。這些檢查領域還配有頻閃照明模型和彩色濾光片，以避免圖像被沖刷。軟件控制設備支持檢查員編碼、多圖像采樣和快速圖像處理等多種功能。它具有異步設計，允許單個圖像並行處理。先進的算法提供實時反饋和缺陷檢測，允許快速分類和提高準確性。系統中增強的動態範圍允許它檢測晶圓和掩模中的細微缺陷。並行信號和圖像處理器有助於在執行檢查操作時實現高速。該單元在非常小的尺寸內掃描時保持精度和可重復性,從而能夠檢查尺寸從0.5微米到25微米不等的設計。KLA ES20 XP配備了事件記錄模塊,能夠捕獲和記錄要報告的圖像幀。用戶友好的軟件具有多語言支持，並使用經過優化的應用程序，使機器能夠針對各種流程或應用程序量身定制。TENCOR ES 20 XP是為高度可靠和準確的結果而構建的,可以定制以滿足自己的特定要求和應用。它能夠檢測和分類由於暴露問題、平版印刷處理參數、叠加誤差等而產生的缺陷,使其成為一種用於掩模和晶圓檢查的多功能工具。