二手 KLA / TENCOR es20xp #9137120 待售
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ID: 9137120
Inspection scanning electron microscope (SEM),
KLA-Tencor 730-611879-001, Rev. AA
KLA-Tencor 750-611512-001, Rev. AA
KLA-Tencor 450-606043-00
Kensington A00-1464
Kensington A00-1465
(2) Warner Electric Motor M061-LSOSE
MDC ABLM-133-1 S/L.
KLA/TENCOR es20xp是一種先進的掩模和晶圓檢測設備,設計用於檢測半導體生產中的缺陷和過程控制問題。該系統使用頂級、高分辨率硬件和高級軟件算法,高速、精確地檢查半導體掩模和晶片。其部件包括硬件檢測單元、計算機輔助檢測機(CAI)和操作員接口。硬件工具具有成像和缺陷檢測兩個主要功能.資產的第一步是成像,它捕獲晶圓或掩模的高分辨率圖片。然後,此圖片將用於創建特征陣列,這些特征將被標識並與所需的特征集進行比較。如果發現任何缺陷,模型將在圖像上復制該缺陷以進行進一步分析。設備的第二步是缺陷檢查。檢查過程通常包括兩個附加步驟。首先,系統進行表面掃描,然後查找晶圓或掩模陣列中的異常。一旦發現差異,單位將其標記為缺陷,並進一步評估其嚴重程度。CAI提供存儲檢查程序、自動執行重復任務和分析數據的功能。這臺機器旨在減少完成檢查所需的時間,並提高準確性和特異性。其組成部分包括模式搜索/匹配算法、統計過程控制軟件和數據庫集成工具。最後,設計了操作員界面,便於操作和提高可用性.此界面允許用戶快速編程工具、查看圖像並驗證檢查結果。它還允許針對特定的應用程序或檢查目標優化資產。總之,KLA ES20 XP模型是一種復雜、高效的多元件掩模和晶片檢測設備。該系統具有高分辨率的硬件、先進的軟件算法和用戶友好的界面,能夠準確、快速地檢測半導體制造過程中的缺陷並控制過程。
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