二手 KLA / TENCOR es20xp #9253037 待售

ID: 9253037
優質的: 2000
Scanning Electron Microscope (SEM) 2000 vintage.
KLA/TENCOR es20xp是一種用於半導體器件制造的先進的掩模和晶圓檢測設備。它允許使用傳統的檢查技術檢測到面罩和晶片中可能無法檢測到的缺陷。KLA ES20 XP系統結合了先進的光學和軟件來檢測到納米級的矽缺陷。此單元能夠檢查分辨率為5nm的晶片上的特征。利用明亮光源,TENCOR ES 20 XP有助於識別具有高對比度和無與倫比的可重復性的缺陷。此外,高級軟件允許KLA/TENCOR ES 20 XP精確檢測異物顆粒和缺陷。TENCOR es20xp利用光學顯微鏡技術。這樣就可以清晰、放大晶片表面的視圖,而無需透鏡或其他光學元件。該機器包括一個自動對焦工具,允許用戶快速調整焦點到晶圓的不同部分,以及一個自動增益資產,提高信噪比,以提供更高的對比度圖像。可以將KLA es20xp設置為各種掃描模式。單發模式掃描整個晶片,同時還可以定義掃描區域和掃描字段。使用掃描區域,用戶可以細化掃描並檢查晶片上的特定位置,而在掃描字段中,可以同時檢查晶片的幾個不同區域。最後,熱點模式只掃描具有高缺陷密度的區域。KLA/TENCOR ES20 XP可用於多種應用中。它可用於識別和校正模具粘合問題,檢測缺陷或蒙版圖樣損壞,評估晶圓的表面形態。該模型可用於檢測底切、短褲、空隙和劃痕,以及碎片和故障部位。Es20xp是一種先進的掩模和晶圓檢測設備,能夠檢測到納米級的小缺陷和微粒。該系統提供晶片表面的高分辨率視圖,允許快速準確的缺陷檢測。有各種掃描模式,可以優化高缺陷密度區域的缺陷檢測。KLA ES 20 XP是半導體器件制造商必不可少的工具,能夠快速、可靠、準確地檢查掩模和晶片。
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