二手 KLA / TENCOR eS25 #9249429 待售

KLA/TENCOR eS25是一種創新的晶片和掩模檢測設備，旨在識別、監測和分析半導體晶片和光掩模上的關鍵缺陷數據和粒子汙染。該系統由電荷耦合器件（CCD）晶圓檢測儀和四極散射資源成像（QSRI）掩模檢測機兩部分組成。CCD晶片檢測工具利用高靈敏度光探測器檢測晶片上非常小的缺陷和顆粒。該資產包括一個定制設計和集成的攝像頭，具有彩色CCD成像和高精度光學。集成相機可應用精密算法檢測晶圓上的顆粒等缺陷，消除誤報。此外，該模型包括一個粒子識別設備，可以檢測和精確表征粒子形狀和大小。QSRI掩模檢測系統還采用先進的成像技術檢測光掩模上的缺陷。該單元利用具有高速掃描能力的四極散射計快速生成高質量的光掩模圖像。此外，該機器還有一個專有的分析算法，可以測量光掩模上粒子缺陷的大小、形狀和對比度。該工具能夠探測到25納米大小的粒子。KLA eS25是一種高級檢查資產,旨在通過快速準確地檢測缺陷和汙染來確保客戶晶片和掩模的質量。該模型利用CCD和QSRI成像技術，生成高質量的光掩模和晶片圖像，可以進行分析以檢測和識別缺陷。該設備能夠探測到非常小的顆粒，尺寸可達25納米，這有助於確保高質量產品的生產。