二手 KLA / TENCOR eS25 #9291483 待售
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KLA/TENCOR eS25是一種掩模和晶片檢查設備,可自動、高精度地測量掩模、標線和晶片上的關鍵尺寸和缺陷特性。該系統旨在在整個制造過程中實現詳細、高分辨率的過程控制。KLA eS25結合先進的光學和圖像處理技術,快速準確地測量掩模和晶片特征的關鍵尺寸。該單元采用靈活的設計,能夠測量10 nm及以上的特征,提供無與倫比的分辨率和準確性。該機器還具有一流的成像功能。它能夠捕獲高分辨率圖像,並在廣泛的光波長範圍內檢查掩碼和晶片。該工具還具有高速吞吐量和自動數據捕獲功能,允許用戶快速評估和分析晶圓以掩蔽模式,並創建詳細的配置文件映射以優化流程。TENCOR eS25還包括一個內置的檢驗配方庫,每一個都是為測量和監控特定參數而量身定制的。還包括一個掩碼和晶圓圖像庫,可用於快速比較實際制造結果與預期或期望的模式。該資產設計為用戶友好,具有圖形化用戶界面,可簡化復雜掩碼和晶圓檢查操作的設置和執行。該模型還包括一個數據分析模塊,用於快速、準確的數據後處理,有助於確保可靠和一致的制造結果。總體而言,eS25掩模和晶片檢查設備提供先進的功能和方便用戶的操作,使詳細的過程分析和控制。該系統確保對每個應用程序進行適當檢查,確保在廣泛的制造過程中取得可靠和一致的結果。
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