二手 KLA / TENCOR eS30 #9258336 待售

KLA/TENCOR eS30是一種專門的掩模和晶圓檢測系統，用於半導體生產過程。eS30mask和晶圓檢測系統是一個強大的minifab級解決方案,旨在提供業界領先的報告能力和產量控制。KLA eS30能夠將光學和電氣計量系統結合起來,從而能夠快速可靠地提供準確的數據。這包括捕獲細粒度幾何細節的高級成像技術,以及用於識別陣列或缺陷源的高級模式識別功能。TENCOR eS30能夠容納各種基材和口罩，從12英寸方形口罩到25英寸方形晶片。它配備了自動對準技術，確保以盡可能高的精度為大批量生產精確放置掩模或晶片。除了自動掃描功能外,eS30還提供全面的報告功能,以實現最終的可追蹤性。這包括詳細的缺陷報告,將檢測到的缺陷分配給源,並報告到固有故障級別。然後,此可追蹤性數據將用於跟蹤流程趨勢、測量產量指標,以及com［是針對平面數據的鑄造指標。此外,KLA/TENCOR eS30允許用戶選擇特定的缺陷或模式,以「數據管理」模式進行觀察或分析。在計量方面，KLA eS30可以測量兩種類型的表面結構，無論是平紋結構還是覆蓋結構。在高級模式識別功能的補充下,實現了模式信息的精確可視化和分析。這包括檢測所有類型的非理想進程,例如3D陣列和非均勻性。TENCOR eS30還提供了用於外圍區域缺陷和晶圓清除的成像和分類功能。結合起來,eS30提供了一整套用於檢查和驗證掩模和晶片層的特性和功能。該系統是改進檢測和分析的理想選擇,可以全面了解過程和性能。這樣可以確保制造和裝配以最大的產量平穩高效地運行,從而確保產品的質量和可靠性。