二手 KLA / TENCOR eS30 #9280537 待售
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ID: 9280537
優質的: 2004
Defect inspection system
Stage: X, Y, Z
ESC Interface
Piezo actuators
Faraday cup
Description / Part number
RENISHAW / HEIDENHAIN / P/N: RGH25U15M01C
Precision flatness 6061 aluminum base X, Y Mounting plate / P/N 730-21805-000 Rev BA
X-Axis / P/N: 740-21057-000 Rev EA
Y-Axis / P/N: 585-001-950 Rev D
Y Driver motors / Scales / X, Y Thermistors / Flags interface board 830-21063-000 Rev CB / P/N: 820-21063-000 Rev CB
X Driver interface board (X Flags J16, X Motor J17, Y Motor J3) 831-21062-000 Rev CB / P/N: 820-21062-000 Rev DB
High and low voltage wiring cables included
2004 vintage.
KLA/TENCOR eS30是一種用於生產和工程/研究環境的掩模和晶圓檢驗設備。它能夠同時提供高精度測量臨界層參數，如線寬和邊緣位置。該系統基於KLA專有的OpticVision技術構建,具有3段BDI Laser、帶FocusLens的激光掃描頭組件和超高速數碼相機。這些組件的組合為當今的高級生產和研究應用提供了前所未有的速度、靈活性和準確性。三段BDI激光器采用三束激光束，比傳統的單激光器系統具有更高的通量和更好的性能。激光器是可單獨調諧的,可實現廣泛的測量速度,這為該單元提供了作為生產工具的特殊功能。激光掃描頭組件使用大光圈FocusLens將激光束聚焦在非常小的特征上，並以非常低的表面不規則性檢查到的特征。這提供了晶片表面的卓越覆蓋，包括邊緣和角，這可能是很難用一個單一的激光檢查。KLA eS30還配備了超高速數碼相機，能夠以非常高的速度捕捉熒光圖像，非常適合光學光刻應用。它還具有一個集成的高精度級，可以在一次掃描中從頭到尾快速遍歷晶圓或標線。而且，TENCOR eS30還具有自動離線測量功能，可用於快速標線或晶圓評估，也可用於自動化數據分析和記錄。這臺機器有一個功能強大的軟件套件,具有測量、分析和報告功能,用戶可以使用從eS30收集的數據快速評估其數據、生成報告和制作比較掩碼。總體而言,KLA/TENCOR eS30提供了無與倫比的性能和準確性,使其成為滿足各種晶圓和掩模檢查需求的理想解決方案。它結合了激光掃描頭組件、超高速數碼相機和自動離線測量功能,使其成為任何生產和/或工程/研究環境的理想選擇。
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