二手 KLA / TENCOR eS31 #191476 待售

KLA/TENCOR eS31是一種全自動、高分辨率的檢測設備,專門為掩模和晶圓過程中的高級計量和過程控制應用而設計。系統執行一系列關鍵功能，包括晶片缺陷審查和分類、掩模模式檢查和晶片數據分析。該單元為分析人員提供有關過程穩定性、過程一致性、缺陷特征和缺陷分類的詳細信息。KLA eS31采用創新的設計來實現高分辨率圖像和數據分析-它結合了多種成像和光譜技術來解開晶圓和掩模表面的秘密。集成顯微鏡機通過其先進的照明、圖像采集和分析功能，能夠檢測和測量納米級特征，而光譜工具可以量化從原材料到成品的光譜數據。該資產配備了高速自動裝載機，允許用戶快速安全地裝卸晶片和掩碼，無需人工幹預。TENCOR eS31具有多種檢查模式,以適應各種檢查要求,包括缺陷特定、區域特定和全表面掃描。該模型還具有先進的模式識別功能，使其能夠檢測細微的模式缺陷，以及錯誤識別。ES31提供自動化的數據分析和報告功能。設備可以生成清晰、可行的報告,幫助定義晶圓和掩模過程的穩定性和一致性,並量化缺陷的特征及其潛在的根源。該系統還可用於生成產品質量報告,以記錄機器和過程的性能。KLA/TENCOR eS31是監測晶圓和掩模過程的理想工具,以確保它們保持無缺陷和一致性。該設備具有高速、高分辨率的光學和數據分析功能,使其成為晶圓缺陷和掩模模式自動檢測和分類的寶貴資產。該機器易於使用、加載速度快以及強大的數據分析和報告功能使KLA eS31完整缺陷檢測和過程控制解決方案的重要組成部分。