二手 KLA / TENCOR eS31 #293610174 待售
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ID: 293610174
優質的: 2005
E-Beam inspection system
Loader unit
Console unit
Noise cut AVR
(2) Dry pumps
2005 vintage.
KLA/TENCOR eS31是一種先進的掩模和晶圓檢測設備，為最高效率和精度而設計。該系統利用先進的高分辨率光學單元、先進的激光衍射技術和Advanced Motion Control TM,以高達10微米的分辨率提供高質量的圖像。KLA eS31由幾個子系統和組件組成,這些子系統和組件協同工作以提供最高的準確性和生產率。該機器包括層析成像單元、晶片檢測階段、顯微鏡目標、激光衍射工具、滑動階段和自動晶片定位資產，以及高精度監視器。斷層掃描裝置具有高度先進的結構，旨在減少振動和增強成像穩定性。斷層掃描設備采用先進的激光照明器、13英寸液晶顯示器和焦點控制模型，以線性或圓形模式提供高達10微米的清晰和精確圖像。晶圓檢查階段為帶有精密機械手和滑動階段設備的先進雙臂相機架。它旨在提供晶片定位的最大精度,最小的漂移和應力,而顯微鏡目標即使在超高檢測分辨率下也能提供最大的放大倍率。激光衍射系統在檢查線緣粗糙度等特殊結構時提供最大精度，能夠在0.1微米的線寬下校準至40微米。多軸機械臂的安裝進一步提高了設備的精度和精確度，加快了生產速度，並導致更可靠的檢測產量。TENCOR eS31還配備了高分辨率顯示器，可精確查看高達10微米的圖像。它具有一個大的，顏色編碼的顯示，它允許操作員精確調整他們的設置和快速分析他們的結果。ES31是理想的面膜和晶圓檢驗機器。其全面的功能集提供了最大的準確性和檢查速度,確保了質量部件的快速、可靠和一致交付。
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