二手 KLA / TENCOR eS31 #293619038 待售

KLA / TENCOR eS31
ID: 293619038
E-Beam inspection system.
KLA/TENCOR eS31是為半導體工業設計的自動掩模和晶圓檢測設備。該系統采用先進的2D和3D檢測技術,準確檢測先進半導體產品的缺陷。該單元使用自動縫合來創建模具表面的精確映射,並采用高級算法以高精度和可靠性檢測缺陷。該機具有較高的通量檢測率,能夠每小時檢測量高達1500個晶圓。KLA eS31工具由各種組件組成,包括高級光學、運動控制系統和圖像處理算法。資產的光學元件包括電動物鏡、遠心照明、光學濾光片和偏振光源。這些光學器件用來制作質量和精度都比傳統光學器件更高的圖像。運動控制模型包括一個可以在六個不同軸上移動的六腳架運動階段,使設備能夠精確掃描模具表面。系統采用的圖像處理算法采用先進的機器學習技術對模具表面的缺陷進行檢測和分類。這些算法能夠檢測各種缺陷,包括空隙、粒子、斷裂和地形誤差。該單元還能夠檢測缺陷的位置和大小,以便進行最準確的缺陷分類。此外,機器能夠輸出帶有分類註釋的圖像,以便進一步分析和查看。TENCOR eS31是進行精確可靠的掩模和晶片檢測的先進可靠工具。它利用先進的光學、運動控制系統和圖像處理算法,以高精度和可靠性檢測模具表面的各種缺陷。該資產具有較高的吞吐率,適用於各種半導體應用。
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