二手 KLA / TENCOR eS31 #9203779 待售

KLA / TENCOR eS31
ID: 9203779
Defect inspection system.
KLA/TENCOR eS31是一種高性能的掩模和晶圓檢測設備,旨在提高產量。它確保為半導體工業生產質量更好的集成電路和光電器件。它提供了高度準確可靠的成像和測量能力,能夠快速的質量控制和關鍵生產參數的測量。KLA eS31將KLA CCD(電荷耦合器件)技術與先進的圖像處理算法結合到一個異常精確的系統中。單位執行各種檢查任務,包括晶圓和標線(掩模)測量。它結合了定制照明機、復雜的成像算法和特殊的數據采集技術來測量極小的特征和變化。TENCOR eS 31獨特的自動對焦功能提供了改進的聚焦範圍,與傳統的自動光學檢查系統相比具有優勢。它還實現了對各種表面特性(如粒度、粒度類型、地形和裝配特征)的自動和最優數據采集。ES31提供了多種掃描和任務選項,使工具能夠根據客戶的具體需求進行設計和配置。資產可以配置各種附件,以滿足各種需求,包括自動化電氣測試系統、自動光學探測和對準系統以及獨立的光學系統。KLA/TENCOR eS31提供了一系列不斷變化的工具。此外,該模型與客戶現有的生產系統無縫集成,最大限度地減少了額外的硬件需求。這有助於確保改進的可擴展性和更大的生產靈活性。設備的靈活軟件允許收集多個數據點。該軟件可以針對客戶的需求量身定制,允許對各種缺陷進行檢查和分析,包括標線、遮罩和晶片特性。該軟件還可用於生成報告,對系統組件的質量和性能進行詳細分析。總之,KLA eS31是一個高性能的面膜和晶圓檢驗裝置,旨在提高產量。它非常精確,具有自動對焦功能和改進的對焦範圍,並具有靈活的軟件和多個數據點選擇和報告選項。此外,它還與現有生產系統無縫集成,確保改進的可擴展性和更大的生產靈活性。
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