二手 KLA / TENCOR eS31 #9298886 待售

KLA/TENCOR eS31是一種高性能的掩模和晶圓檢測設備,可滿足客戶對高精度和吞吐量的需求。它能夠為各種半導體器件提供納米級精度和前所未有的檢測速度。KLA eS31采用具有閃電模塊的KLA SLF光柱、標準化的HS統計背景和GS1掃描功能的優化光學設計。SLF光學設計在整個視圖領域提供了出色的均勻性和圖像質量。專利空氣懸浮系統允許超過1 M Hz的高速掃描和納米級分辨率。這樣就可以快速、精確地檢測到原本不會看到的缺陷。閃電模塊提供4種紅外線、紫外線和晶圓光學對比度組合,以最準確地檢查設備上的任何特征。HS統計背景提供了樣本和可信賴參考表面的帶電信號之間的比較，確保了汙染物和缺陷的可靠檢測。GS1掃描功能允許檢查12英寸至200毫米厚的半導體器件晶片。掃描最多可在4秒內覆蓋40,000mm2。該單元還具有較高的自動化程度，以盡量減少處理需求。TENCOR eS31的軟件具有多種特性，如；自動關聯、群集算法、平面視圖和自動視圖。自相關和聚類算法允許同時比較晶圓正面和背面的多個數據集中所檢測到的數據。平面視圖有助於確定探測器強度和信號與背景的解釋。自動視圖允許生成包含蒙版、解壓縮、掃描和摘要信息的單個視圖。綜上所述，來自TENCOR的eS31是一種提供納米級精度和吞吐量的高性能掩模和晶圓檢測機。KLA/TENCOR eS31具有先進的光學設計、獲得專利的空氣懸掛工具和用戶友好的軟件,是滿足任何半導體制造需求的理想解決方案。