二手 KLA / TENCOR eS31 #9300221 待售
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KLA/TENCOR eS31是一種高性能、自動化的掩模和晶圓檢測設備,設計用於檢測電子器件中的絲毫缺陷,如半導體集成電路(IC)。KLA eS31使用數字成像技術捕獲和分析掩模和晶圓表面的圖像,以檢測甚至最小的缺陷。系統可以檢測在各種工藝步驟中被拒絕的歪斜線、顆粒汙染或缺失模式。利用先進的自動圖像處理算法,無需人工幹預即可自動分析圖像.分析包括測試模式的分類、掩模/晶片對齊以及檢查所有掩模模式的關鍵特征。TENCOR eS31檢測螺紋缺陷、非均勻性、相幹和反轉誤差以及顆粒汙染。eS31的一個獨特特點是能夠檢查超低壓(ULV)缺陷,其他系統無法實現完全檢測。KLA/TENCOR eS31是通過顯示器和鼠標操作的完全集成的高速單元。它提供極高的吞吐量,以高達每小時300晶圓的速度運行。該機器還具有直觀的用戶界面和高級菜單驅動的操作,以便於使用。KLA eS31能夠測試各種模式、晶片和掩碼。該工具采用最先進的檢測技術,包括CCD攝像頭、LED照明、攝像頭控制器、控制臺控制器、Robo-sys控制器和z-stage,將檢測資產移到晶圓上方。它還提供高質量的後期處理功能,以準確檢查缺陷大小和類型。該模型可升級以適應新的需求和技術。總體而言,TENCOR eS31是快速掩模和晶圓檢測的理想選擇.它將高速精密成像與高級缺陷檢測功能相結合,以確保產品的制造達到最高標準。該設備易於設置和操作,能夠檢查各種面具和晶片。
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