二手 KLA / TENCOR eS32 #293665956 待售

KLA/TENCOR eS32是一種掩模和晶片檢測設備，能夠對各種應用類型進行缺陷檢測和診斷。它結合了先進的光學光刻和成像技術來識別甚至最微妙的過程缺陷，例如那些由捕獲的粒子或汙染引起的缺陷。它的分辨率為0.5 µm，可以加工直徑達200 mm的基板。它還由一套缺陷檢測軟件支持，旨在最大限度地提高效率，最大限度地減少遺漏的缺陷。KLA eS32能夠在各種環境下進行檢測,從而能夠檢測從高級光刻到光刻、直接氧等離子體灰化、濕蝕等各種應用中的缺陷。它有一個雙望遠鏡系統，它可以在一次曝光中有效地檢查網狀和晶圓。它配備了9級、高分辨率的彩色成像單元和閉環晶片運動，用於精確的缺陷采樣和精確的成像。該機器由KLA DataLink提供動力，KLA DataLink是一個單一的軟件平臺，通過整合同一邊界內的檢查和診斷功能為用戶提供統一的體驗。DataLink通過提供自動作業設置的無觸摸工作流,旨在提高工作效率。此外,它的硬件無關體系結構針對無縫主機控制和數據交換進行了優化。TENCOR ES 32還配備了計量能力，通過集成計量硬件實現了廣泛的測量。這包括CD-SEM和OVL自動匹配,以提高數據精度。它也經過預先校準，以盡量減少基線校準時間。此外,ES 32還具有多種生產力功能,包括易於使用的直觀UI、用於快速報告的實時郵票、用於快速審核的多重缺陷事務以及用於定制體驗的機載定制。此外,用戶可以從一系列可選附件中進行選擇,以便為任何應用程序定制eS32的實用程序。總體而言,TENCOR eS32是一種功能強大且用途廣泛的掩碼和晶片檢查工具,能夠在廣泛的應用中執行高分辨率缺陷檢測和診斷。它配備了自動化的作業設置和各種功能,以提高效率和生產率。憑借先進的技術和廣泛的計量能力,KLA ES 32可以幫助減少遺漏的缺陷並確保最佳性能。