二手 KLA / TENCOR eS32 #9139567 待售

KLA / TENCOR eS32
ID: 9139567
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Electron-beam defect inspection (EBI) tool, 12" 2007 vintage.
KLA/TENCOR eS32是一種掩模和晶片檢測設備,在分析納米級的電介質、薄膜和其他結構時,可提供最高精度和精度。該系統使用最先進的光學和成像技術來檢測和分析分辨率小至0.1um的缺陷。這種高分辨率圖像使用戶能夠識別可能導致設備故障的小顆粒、顆粒和其他汙染物。該單元配備了2個透鏡,每個透鏡都有不同的數值光圈,使其能夠捕獲晶圓的頂部視圖和橫截面視圖。此外,KLA eS32包括近紅外成像和波長濾波技術,以幫助識別和隔離傳統光學顯微鏡可能看不見的缺陷。除了強大的成像能力外,TENCOR ES 32還為用戶提供了自動缺陷分析、模式識別、顏色編碼數據標註等一套軟件功能,以進一步方便檢測過程。該機還與廣泛支持的行業標準兼容,包括SEMI E 10和MIL-STD-1275。ES 32旨在承受最嚴謹的環境。它采用輕巧、堅固耐用的鋁合金外殼打造,旨在承受沖擊和溫度波動。該工具還具有用戶定義的運動延遲功能,以確保資產在延長的觀察或分析期間保持在同一位置。總之,eS32是市場上最強大、最可靠的顯微鏡工具和成像系統之一。高分辨率成像和強大的軟件功能使其成為識別納米級粒子、缺陷以及與處理或操作性能相關的其他問題的完美工具。
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