二手 KLA / TENCOR eS32 #9205645 待售

KLA/TENCOR eS32是一種功能強大的掩模和晶圓檢測設備,可為要求最苛刻的半導體制造工藝提供實時缺陷檢測。它具有突破性的性能,可以同時檢查多達32個復雜的掩模或晶片。該系統的可變分辨率低至0.26微米，比之前的單元提高了四倍。這使得它能夠檢測到亞光學缺陷尺寸，這對於確保現代16納米和20納米半導體制造的產量至關重要。KLA eS32使用動態焦點模塊（DFM）,它自動調整每一層檢查的焦點。這提供了一流的圖像清晰度,並消除了階段校準不準確造成的問題。該機器還包含一個專有的Q-Detect算法，它允許它檢測復雜的缺陷，否則這些缺陷將不被發現。這種復雜的算法在邏輯上結合了三種檢測意識形態，以涵蓋所有可能的缺陷類型。此外，TENCOR ES 32具有獨特的圖像捕獲功能，可以一次捕捉整個晶圓。這增加了吞吐量並降低了缺陷逃逸的風險。此外，該工具還配備了High-Dynamic Range （HDR）圖像處理器，可以輕松區分微觀缺陷和特征特征，從而改進缺陷分類。KLA/TENCOR ES 32還利用KLA iQ技術優化檢測性能。該技術采用機器學習算法自動調整檢查操作，以檢測困難缺陷。總之,KLA ES 32是先進的掩模和晶片檢測的理想解決方案.它提供卓越的性能,並提供多種功能,使其能夠檢測到最小的缺陷。它是半導體行業的理想工具，確保了最佳產量和最佳產品。