二手 KLA / TENCOR eS32 #9255738 待售

KLA/TENCOR eS32是一種先進的、經濟高效的掩模和晶片檢測設備，能夠檢測生產線上使用的各種掩模和晶片的顆粒和缺陷檢測。該系統利用高分辨率光學成像，生成晶圓生產中使用的納米和微型元件的清晰圖像。其獨特的側壁成像能力也提高了檢測結果的準確性和速度，如角度缺陷檢測。獲得專利的Dark Field Bright Field和OmniBeamTM技術進一步拓寬了KLA eS 32的規格,以檢測微粒到0.2 µm。該單元具有檢測晶片表面顆粒的能力，包括抗渣、金屬化、霧霾、電子束抗劃痕等。其特殊的暗場明場成像結合了角度相關和角度無關的檢查，與傳統的暗場檢查相比產生更精確的結果。這使機器能夠檢測到電線斷裂或其它角度的缺陷,否則這些缺陷將是不可見的。獲得專利的OmniBeamTM和斜角光技術提高了光照強度，進一步提高了檢查結果。由於其用戶友好的界面和直觀的軟件，該工具非常容易設置和操作。軟件利用預定義的工作流和參數自動檢測、分析和分類缺陷,並允許進一步分析和比較。該資產具有存儲和比較各種檢驗結果的能力，能夠快速輕松地分析完整的生產線而不會造成任何麻煩。TENCOR ES 32掩模和晶圓檢測模型具有在納秒內進行全局缺陷搜索的能力,是一種快速可靠的解決方案,可以捕獲所有最小缺陷。它的自動化功能允許快速和準確的檢查,從而節省成本並實現高效的生產周期。此外，其用戶友好的界面和直觀的軟件界面提供了方便的設置和操作，使設備非常適合快速，精確和成本節約的生產線。