二手 KLA / TENCOR eS32 #9282549 待售

KLA/TENCOR eS32是一種用於深亞微米分辨率計量的掩模和晶圓檢測設備，可實現精確的模式表征。KLA eS32具有先進的分析算法和基於足跡的光學系統的獨特組合,能夠捕獲到最小級別的工件。TENCOR ES 32提供具有多種影像選項的3D影像系統。它配備了兩個攝像機，四通道TENCOR eS32攝像機和五通道eS32-T攝像機。KLA ES 32相機可捕捉最大像素分辨率為1024 x 1024的圖像,而ES 32-T的最大像素分辨率為2048 x 2048。該單元可用於多種模式應用，包括掩模檢查、晶圓檢查和叠加檢查。KLA/TENCOR ES 32利用先進的成像技術，能夠實現深亞微米的模式分辨率，能夠檢測到高達0.5 μ m的粒子。這種密集的模式分析由KLA/TENCOR eS 32的專有軟件提供支持,該軟件采用高級算法提供高分辨率分析。此外,KLA eS32還有一個集成的叠加機,能夠以卓越的精度為標線、掩模和晶片提供叠加測量。TENCOR ES 32自帶內置表面檢測工具TENCOR eS32-SE。ES32-SE是一種完全集成的基於鏡頭的資產，它包含各種照明源，包括暗場和明場成像。該模型可用於檢測晶圓和掩模表面有故障的顆粒、劃痕、灰塵和其他汙染物。KLA ES 32具有直觀的圖形用戶界面和強大的軟件平臺。這使用戶能夠根據自己獨特的應用要求快速輕松地定制設備。此外,系統能夠自動調整到不同的晶圓大小,而無需手動幹預。ES 32是當今先進技術超精細陣列應用的理想工具。KLA/TENCOR ES 32具有卓越的成像能力、自動化的對準單元和用戶友好的界面,是一種高效的掩模和晶圓檢測解決方案,可用於深亞微觀特征表征。