二手 KLA / TENCOR eS32 #9354572 待售

KLA/TENCOR eS32是一款先進的掩模和晶片檢測設備,它利用獨特設計的主動成像頭和最新的成像傳感器,提供更高的質量、更快的檢測時間和更高的缺陷放置精度。該系統旨在提供業界領先的吞吐量、產量和臨界維度（CD）精度,以解決最新芯片技術的快速增長需求。該單元的高級主動成像頭包含兩個安裝在光學元件相對兩側的全寬2k x 2k攝像機傳感器,以便在平行照明和陰影照明模式下同時進行2D成像。這提供了檢測各種角度的缺陷和特征所需的成像和非成像功能,有助於降低返工成本。該機器還包括用於晶圓級CD控制的高級傳感器和支持晶圓和先進包裝技術公司的高分辨率平面場/連通性計量。增強焊料檢查（ESI）功能旨在識別晶片和基板上的焊料空隙,精度不超過1%。KLA eS32采用了最新的高分辨率成像技術,使其能夠以每秒1到4張圖像的速度在所有產品類型中捕獲256 x 256像素圖像（單面和多面配置）,從而實現最佳吞吐量和較小的占地面積。該工具還支持3D重構和紋理識別，允許高度精確地自動進行缺陷分類和平整，並且作為基於規則的檢驗資產，可以輕松配置為遵守各種客戶程序和標準。此外，TENCOR ES 32能夠掃描大面積晶片，通過檢測比標準光學系統更多類型的缺陷來提高質量和產量。結合先進的高分辨率傳感器、重構和紋理識別算法，采用基於規則的檢測方法，提供高精度檢測能力，導致缺陷檢測率高、吞吐量高。該模型快速準確，使其能夠在晶片或芯片投產前快速評估其質量。