二手 KLA / TENCOR eS32 #9387246 待售
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ID: 9387246
優質的: 2006
Electron-Beam Defect Inspection (EBI) system
Scan boards missing
2006 vintage.
KLA/TENCOR eS32是一種先進的、技術先進的掩模和晶片檢測(MWI)設備,利用高分辨率、高速檢測系統最大限度地提高單位吞吐量和每個樣品所花費的時間。這臺機器具有自動化的五軸直線電機成像功能,可實現自動樣品加載和優化,確保高效、準確地檢查所有樣品。自動化的樣品控制確保樣品不會被誤載或處理不當,從而消除人為錯誤並導致更高質量的檢查程序。KLA eS32具有先進的處理能力,包括強大的實時分析和專門的基於算法的感知缺陷識別,可用於檢測半導體器件中的表面和地下缺陷及其特征。MWI工具還配備了一個全場照明資產,旨在揭示所檢查樣品的更詳細信息。集成照明模型與自動化工藝階段配合使用,在各種不同的設備基板上提供一致的精度水平。此外,該設備還能夠高速成像整個晶片,節省時間和精力,同時提供超高分辨率的數字圖像用於缺陷審查和分析。該系統還配備了先進的數據分析技術,能夠識別以前未被註意到的特征,以及一致的缺陷識別和分類。TENCOR ES 32優越的成像能力和先進的數據分析是確保掩模和晶圓檢測精確進行的關鍵組成部分。自動化樣品加載、超高分辨率成像和高級數據分析相結合,可確保客戶獲得最大的吞吐量和優異的效果。結合其高端組件,如超高分辨率成像技術和整體照明設備,使其在MWI領域處於業界領先地位。
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