二手 KLA / TENCOR eS32 #9398361 待售

ID: 9398361
E-Beam inspection systems 2005-2006 vintage.
KLA/TENCOR eS32是一種用於檢查半導體掩模和晶片的自動化光學檢查設備。它具有10微米的成像分辨率,能夠檢測各種缺陷,包括臨界尺寸(CD)、線寬變化、錯位、劃痕、針孔、顆粒、汙漬和其他過程引起的缺陷。KLA eS32支持亮場和暗場成像,使用戶能夠檢測透明和不透明表面上的最小缺陷。TENCOR ES 32的先進、高分辨率相機配備了500萬像素傳感器和16mm雙鏡頭設計,能夠最大限度地準確檢測各種基板上的微小特征。相機能夠以高達每秒100幀的速度捕捉圖像,並用超短脈沖激光曝光晶圓,從而顯著減少模糊。此外,KLA ES 32的多種檢查模式,包括亮場、暗場和組合明場-暗場,為用戶提供全面的缺陷覆蓋。除了強大的成像能力外,KLA/TENCOR ES 32還具備幾項先進的智能功能。其中包括用於優化缺陷檢測精度的內置圖像分析算法和用於自動、可靠圖像聚焦的專有自動散焦校正系統。該設備的用戶界面直觀、用戶友好,具有觸摸敏感的顯示器,可輕松檢查圖像和快速分析數據。ES32建立在模塊化平臺上,使用戶能夠定制機器以滿足其特定的半導體檢查需求。其高度精確、低調的視覺系統能夠執行高速檢查和掃描測量任務。此外,該工具的高級算法和嚴格公差改善了視覺檢測,減少了停機時間,並提供了穩定、可靠的檢查體驗。總體而言,TENCOR eS32是半導體掩模和晶圓的絕佳自動光學檢測資產,憑借其先進的成像技術、智能功能和可定制的模塊化平臺。其設計允許快速可靠的缺陷檢測,最大限度地提高產量和產品質量。
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